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Ourstex 100FA能量色散型X射線熒光光譜儀的X射線管發(fā)射出初級(jí)X射線到樣品上，通過(guò)半導(dǎo)體探測(cè)器檢測(cè)樣品激發(fā)出的熒光X射線，從而對(duì)樣品元素進(jìn)行無(wú)損定性和定量分析。半導(dǎo)體探測(cè)器采用帶電動(dòng)冷卻系統(tǒng)的硅漂移探測(cè)器（SDD），無(wú)需液氮冷卻，結(jié)合數(shù)字信號(hào)處理器（DSP），使得測(cè)試結(jié)果具有高分辨力。為了提高分析性能，良好的光學(xué)激發(fā)系統(tǒng)使得半導(dǎo)體探測(cè)器達(dá)到了很高的能量分辨率和測(cè)量靈敏度。